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產品描述：

  本設備主要應用于光電子器件、新能源、太陽能電池、集成電路制造及對半導體等材料進行擴散、氧化、退火和沉積等工藝，可用于各種工藝尺寸。該設備系統具有精確微機控制系統，氣體控制系統、具有多種故障報警及安全互鎖功能。

結構介紹：

  臥式擴散爐是石英舟平行于水平面，一臺可以單管或多管的工藝爐管，平均爐管的占地面積更小，片間的工藝參數較立式擴散爐更好,更加有利于機械手傳送光學襯底片，片內工藝參數一致性較好。

  擴散爐由控制系統、進出舟系統、爐體加熱系統和氣體控制系統等組成：

  控制系統：采用觸摸一體機，傳感器萬能輸入，控制精度為0.1級。本控制系統采用高精度溫度控制專用模塊進行溫度控制。主控單元(PLC)通過RS485通訊口與儀表通訊，可通過工藝編程實現全自動執行升、恒、降溫度曲線(工藝設定和監控在工控機上）。溫控模塊使用自整定的PID進行溫度的精確控制

  進出舟系統：手動進出料或自動進出料(有手動石英拉鉤和懸臂槳兩種結構）；

  加熱系統：爐體由進口KANTHAL（康泰爾）公司生產的高溫爐絲，英國MORGAN（摩根）保溫棉，優質99瓷絕緣子，管口處采用進口陶瓷纖維，不銹鋼304外殼等部分組成，設備上裝有測溫熱電偶和超溫熱電偶；

氣路系統:氣路系統包括質量流量控制器、氣動閥、不銹鋼接頭、過濾器、減壓器、單向網等，管道采用耐蝕不銹鋼管。密封良好。整個管路各個網門之間采用程序互鎖，保證了各個閥門之間的連鎖互動關系。所有氣路管道及閥門均采用316L不銹鋼管材，軟管路均采用聚四氟乙烯管路連接。可通入保護性氣體(正壓＜0.04MPa下使用)。

注：可根據要求定制爐膛尺寸，其他特殊要求訂貨時請說明。